Способы напыления тонких пленок, приенение установки ВУП-5
Содержание
Содержание
Введение 2
Термическое(вакуумное)напыление 3
Катодное напыление 5
Ионная бомбардировка 7
Ионно-плазменное напыление 9
Анодирование 11
Химическое осаждение 12
ВУП-5, технические характеристики 13
Трансмиссионная электронная микроскопия 15
Мнение 17
Литература 1
Выдержка
Эталоны для изучения в просвечивающем электронном микроскопе имеют все шансы существовать изготовлены как конкретно из материала исследуемого объекта, этак и из материала, хорошего от материала объекта. В главном случае анализ электроннограмм и дифракционного контраста на изображении дает конкретную информацию о кристаллической структуре объекта. Изящные эталоны для таковых изучений приготовляются с поддержкой последующих способов:
получение тонких срезов на ультрамикротоме;
утончение объектов хим полировкой либо ионной бомбардировкой;
напыление пленок термическое парообразование, катодное диспергирование, газотранспортные реакции и т. д.
разбрызгивание и высыхание(для порошков и суспензий).
Изящные пленки представляют собой слой какого-нибудь материала шириной от 10 по 10000А. Они отличаются сообразно собственным телесным и хим свойствам: эпитаксиальные монокристаллические и аморфные, проводящие и диэлектрические, органические и неорганические. Под эпитаксиальной пленкой традиционно соображают монокристаллический слой, выкормленный на монокристаллической подложке с которой он владеет определенное кристаллографическое соотношение. Эпитаксиальные монокристаллические пленки традиционно содержат недостатки, такие, как дислокации, недостатки упаковки, двойники и субструктуры. Когда высокий слой такого же состава, что и подложка, его именуют гомоэпитаксиальным, ежели же высокий слой иного состава, то он именуется гетероэпитаксиальным. Аморфные изящные пленки владеют или структурой типа хаотической сетки, или хаотической плотноупакованной структурой.
В предоставленной работе станет осмотрен способ напыления тонких пленок термическим испарением на аппарате ВУП-5.
Литература
1. Разработка тонких пленок. Справочник, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, пер. с англ. , т. 1-2, М. , 1977;
2. Плазменная металлизация в вакууме, Минск, 1983;
3. Черняев В. Н. , Разработка изготовления интегральных микросхем и микроциклоров, 2 изд. , М. , 1987;
4. Волков С. С. , Гирш В. И. , Слепливание и напыление пластмасс, М. , 1988;
5. Коледов Л. А. , Разработка и конструкция микросхем, микроциклоров и микросборок, М. , 1989. Л. А. Коледов.
6. Шиммель Г. , Способ электронной микроскопии, пер. с нем. , М. , 1972
Образцы для исследования в просвечивающем электронном микроскопе могут быть приготовлены как непосредственно из материала исследуемого объекта, так и из материа